Yarı iletken veya sıvı kristal ekran imalatı alanında, cihaz entegrasyonu son yıllarda artmıştır. Çok büyük ölçekli entegre devre adı verilen bir cihazın üretiminde, 1 mikron veya daha az ince bir desen gereklidir. Böyle bir üretim sürecinde, ince toz veya çok az miktarda gaz safsızlıkları kablolama düzenine biriktirilir veya adsorbe edilir, bu da devre arızasına neden olur. Bu nedenle, bu gazlarda hem reaksiyon gazının hem de yüksek saflığa sahip taşıyıcı gazın, yani sadece birkaç partikül ve gaz safsızlığının var olması gerekir. Bu nedenle, paslanmaz çelik kılcal boru veya bir üyenin böyle bir gazı yüksek saflıkta kullanması gerekir ve iç yüzeyi, sadece minimum miktarda parçacık ve gazla kirleticiler yaymak için bir kirletici olarak kullanılır. Azot ve argon gibi inert gazlara ek olarak, özel gaz adı verilen birçok gaz da yarı iletken üretimi için gaz olarak kullanılmaktadır. Özel gazlara örnek olarak klor, hidrojen klorür ve hidrojen bromür gibi aşındırıcı gazlar ve silaj gibi kimyasal olarak kararsız gazlar verilebilir. Birincisi gaz korozyon direnci gerektirirken, ikincisi katalitik olmayan performans gerektirir.
Şimdiye kadar, toz veya suyun birikmesini veya adsorpsiyonunu azaltmak için, yarı iletken gaz üretmek için kullanılan parçanın iç yüzeyi, Rmax yüzey pürüzlülüğü 1 mikron veya daha az olana kadar yumuşatıldı. Soğuk çekme, mekanik parlatma, kimyasal parlatma, parlatma veya bunların bir kombinasyonu, borunun iç yüzeyini veya parçalarını yumuşatmak için bir yöntem olarak kullanılabilir. Bununla birlikte, 1 mikron veya daha az değerli son derece pürüzsüz bir malzeme esas olarak elektrolitik parlatma ile elde edilir. Borunun veya benzerinin iç yüzeyi yumuşatılır, daha sonra yüksek saflıkta su ile temizlenir ve nihai ürünü elde etmek için yüksek saflıkta gazla kurutulur.
Kaynak genellikle kaynak yaparken kullanılır. Bunun nedeni, kaynağın boru hattının yüksek mukavemetini ve iyi hava sızdırmazlığını sağlayabilmesidir. Boru hatlarının döşenmesinde, genellikle argon olan yüksek saflıktaki inert gaz koruyucu gaz olarak kullanılır ve iç yüzeyi, kirliliğin ve oksidasyonun bir kısmının mümkün olduğunca yüksek sıcaklıklara ısıtılmasını önlemek için boru hattı aracılığıyla yüksek saflıkta gazla temas eder. Ek olarak, boru hattı döşemesinde, boru hattı bu parçacıkları çıkarmak ve hala boruda kalmak için yüksek saflıkta argon veya azot ile temizlenir. Boru hattı, boru hattı gibi uzun ve karmaşık olduğunda, birkaç gün ila birkaç hafta sürer. Son zamanlarda, yarı iletken üretim tesisinin yapımında maliyet düşüşü ve tesisin erken işletilmesi şiddetle talep edilmiştir. Bu gereksinimleri karşılamak için artık temizlik süresini kısaltmak gerekir.
Yukarıdaki özelliklere ek olarak, boru ve yüksek saflıktaki gaz üyelerinin kaynak yeteneklerine, mekanik contalar için gerekli ortak alana ve aşınma direncine sahip olması gerekir; eklemler gibi parçalar işlendiğinde Mach zayıflığı gereklidir. Öte yandan, yarı iletken boru veya benzeri gazların üretimi için gerekli olan korozyon direncine ve katalitik olmayan özelliklere sahip özel gazların, paslanmaz çeliğin yüzeyinin öyle bir şekilde ısıtılarak iyileştirilebileceği bilinmektedir Atmosfer, böyle bir atmosferde oksijenin kısmi basıncı kontrol edilir. Boru hattının nesnel maddesinin bu literatürde SUS 316L paslanmaz çelik olarak rapor olduğunu belirtmek gerekir.
Yukarıda belirtilen korozyon direnci ve katalitik olmayan performans sadece gaz boru hatları için değildir. Aynı talep, biri ince gofret işlemeye sahip olan yarı iletkenlerin üretimi için çeşitli ekipmanlarda kullanılan paslanmaz çeliklerden de yapılmıştır. Östenitik paslanmaz çelik, özellikle SUS 316L tipi esas olarak borular ve diğer ekipman üyeleri için bir malzeme olarak kullanılır. Japon Kokai Patent Yayını No. 161145/1988, temiz odalarda kullanılan çelik boruların standart dışı yüksek temiz bir austenitik paslanmaz çeliğini açıklamamaktadır. Metalik olmayan inklüzyonlar manganez, silikon, alüminyum ve oksijen içeriğinin azaltılmasını sınırlar, böylece boru hattının iç yüzeyinden parçacık neslini azaltır.
Buna ek olarak, Japonya, yarı iletken üretimi için ekipman için paslanmaz çelik bir üye açıklayan 198463 1989/ patent yayını yayınladı. Bu üyeler paslanmaz çeliğin elektrokimyasal parlatma işleminden sonra gazı oksitliyorlar. Belirli koşullar altında, üzerinde 100 ila 500 angstrom kalınlığında bir oksit tabakası oluşur ve dış kısımdaki Ni atomlarının sayısı Oran olacak şekilde ısıtılır.